荏原製作所の海外グループ会社である合肥荏原精密机械有限公司（本社：中国 安徽省、 以下：HEPM）は、2021年7月8日にオーバーホール工場を竣工し、オープニングセレモニーを行った。式典には、合肥市政府を始めとする社内外の関係者 合計50名が参列した。

　合肥市のある安徽省の周辺では、近年、深圳や上海などに代表される中国有数の半導体産業集積地を目指し、開発が進められている。HEPMは精密・電子事業の拠点として2018年12月に設立され、ドライ真空ポンプのサービス＆サポート事業をメインに展開する企業。今回の竣工した工場は20,000m²の広さを持ち、事務所も併設し、充実したサービス＆サポ―トによる顧客満足度の向上を目指していくという。荏原製作所はこの工場の建設に日本円で約14億円を投資した。

近年、荏原製作所では世界的に高まる半導体市場の需要を背景に、4月にはドイツ ドレスデンにてドライ真空ポンプのオーバーホール工場の稼働を開始している。ドレスデンにはInfineon TechnologiesやGlobalFoundries、Boschといったメーカーが大規模な半導体工場を持ち、欧州随一の半導体生産地になっている。