8 & 12インチウエハ向け 洗浄装置(Cleaner 812S)

8&12インチウエハ向け洗浄装置(Cleaner 812S)の画像
ワークサイズ Φ8 & 12インチ対応
構成 4つの独立洗浄ステーション
 DIW スプレーによるプレ洗浄×1
 両面ロールブラシ洗浄×2
 N2 ブローによるスピン・リンス・ドライ×1
寸法 W: 1,700 ✕ D: 960 ✕ H: 1,300
洗浄方式 スプレー洗浄 / 片面ブラシ洗浄 / スピンリンス乾燥
ブラシサイズ Ø70(OD) Ø32(ID) Ø320(L)
ブラシギャップ調整 オート PLC 制御  (ブラシギャップ範囲: -10mm ~ 2mm)
洗浄液 NH4OH ~1wt% 使用可能
ブラシタイプ PVAブラシ, 両面洗浄ブラシ
ブラシ回転速度 Max 200rpm
スピン速度 Max 2500rpm
リンス/ドライ DIW リンス / メガソニック洗浄 / N2 ブロー
コントロールモジュール PC モニターインターフェース
プログラム可能シーケンス
シーケンス制御: PC
製造元 韓国 G&P Technology社

4~12インチウエハ向け 洗浄装置(Cleaner 412S)

4~12インチウエハ向け洗浄装置(Cleaner 412S)の画像
4~12インチウエハ向け洗浄装置(Cleaner 412S)の画像
ワークサイズ Φ8 or 12インチ対応
寸法 W: 750 ✕ D: 835 ✕ H: 1,250
洗浄方式 スプレー洗浄 / 片面ブラシ洗浄 / スピンリンス乾燥
ブラシサイズ Ø70(OD) Ø32(ID) Ø170(L)
ブラシギャップ調整 オート PLC 制御  (ブラシギャップ範囲: -10mm ~ 2mm)
洗浄液 NH4OH ~1wt% 使用可能
ブラシタイプ PVAブラシ, 両面洗浄ブラシ
ブラシ回転速度 Max 200rpm
スピン速度 Max 2500rpm
リンス/ドライ DI リンス / N2 ブロー
プロセス 自動シーケンスによるマニュアルウェーハローディング
ウェットイン/ドライアウト
LCDモニタータッチパネル、シーケンス制御PLCタイプ
製造元 韓国 G&P Technology社

4~6インチウエハ向け 洗浄装置(Cleaner 428L)

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ワークサイズ Φ4~6インチ対応
構成 6つの独立洗浄ステーション
 自動イン
 自動アウト
 DIW スプレーによるプレ洗浄×1
 両面ロールブラシ洗浄×2
 N2 ブローによるスピン・リンス・ドライ×1
寸法 W: 2,480 ✕ D: 1,085 ✕ H: 1,360
洗浄方式 スプレー洗浄 / 片面ブラシ洗浄 / スピンリンス乾燥
ブラシサイズ Ø38(OD) Ø18(ID) Ø310(L)
洗浄液 2ポンプ(各ブラシチャンバーに1つ)
NH4OH ~1wt% 使用可能
ブラシタイプ PVAブラシ, 両面洗浄ブラシ
ブラシ回転速度 Max 300rpm
スピン速度 Max 2500rpm
リンス/ドライ DIW リンス / メガソニック洗浄 / N2 ブロー
コントロールモジュール シーケンス制御 : PC & PC タッチモニター
製造元 韓国 G&P Technology社