8 ＆ 12インチウエハ向け　洗浄装置（Cleaner 812S）

8＆12インチウエハ向け洗浄装置（Cleaner 812S）の画像
ワークサイズ Φ8 & 12インチ対応
構成 4つの独立洗浄ステーション
　DIW スプレーによるプレ洗浄×１
　両面ロールブラシ洗浄×２
　N2 ブローによるスピン・リンス・ドライ×１
寸法 W: 1,700 ✕ D: 960 ✕ H: 1,300
洗浄方式 スプレー洗浄 / 片面ブラシ洗浄 / スピンリンス乾燥
ブラシサイズ Ø70(OD) Ø32(ID) Ø320(L)
ブラシギャップ調整 オート PLC 制御 　(ブラシギャップ範囲: -10mm ~ 2mm)
洗浄液 NH4OH ~1wt% 使用可能
ブラシタイプ PVAブラシ, 両面洗浄ブラシ
ブラシ回転速度 Max 200rpm
スピン速度 Max 2500rpm
リンス/ドライ DIW リンス / メガソニック洗浄 / N2 ブロー
コントロールモジュール PC モニターインターフェース
プログラム可能シーケンス
シーケンス制御: PC
製造元 韓国 G&P Technology社

Pre-cleaning

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Brush scrubbing

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Spin rinse dry

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Megasonic

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4～12インチウエハ向け　洗浄装置（Cleaner 412S）

4～12インチウエハ向け洗浄装置（Cleaner 412S）の画像
4～12インチウエハ向け洗浄装置（Cleaner 412S）の画像
ワークサイズ Φ8 or 12インチ対応
寸法 W: 750 ✕ D: 835 ✕ H: 1,250
洗浄方式 スプレー洗浄 / 片面ブラシ洗浄 / スピンリンス乾燥
ブラシサイズ Ø70(OD) Ø32(ID) Ø170(L)
ブラシギャップ調整 オート PLC 制御 　(ブラシギャップ範囲: -10mm ~ 2mm)
洗浄液 NH4OH ~1wt% 使用可能
ブラシタイプ PVAブラシ, 両面洗浄ブラシ
ブラシ回転速度 Max 200rpm
スピン速度 Max 2500rpm
リンス/ドライ DI リンス / N2 ブロー
プロセス 自動シーケンスによるマニュアルウェーハローディング
ウェットイン/ドライアウト
LCDモニタータッチパネル、シーケンス制御PLCタイプ
製造元 韓国 G&P Technology社

4～6インチウエハ向け　洗浄装置（Cleaner 428L）

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ワークサイズ Φ4～6インチ対応
構成 6つの独立洗浄ステーション
　自動イン
　自動アウト
　DIW スプレーによるプレ洗浄×１
　両面ロールブラシ洗浄×２
　N2 ブローによるスピン・リンス・ドライ×１
寸法 W: 2,480 ✕ D: 1,085 ✕ H: 1,360
洗浄方式 スプレー洗浄 / 片面ブラシ洗浄 / スピンリンス乾燥
ブラシサイズ Ø38(OD) Ø18(ID) Ø310(L)
洗浄液 2ポンプ（各ブラシチャンバーに1つ）
NH4OH ~1wt% 使用可能
ブラシタイプ PVAブラシ, 両面洗浄ブラシ
ブラシ回転速度 Max 300rpm
スピン速度 Max 2500rpm
リンス/ドライ DIW リンス / メガソニック洗浄 / N2 ブロー
コントロールモジュール シーケンス制御 : PC & PC タッチモニター
製造元 韓国 G&P Technology社

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Pre-cleaning
 

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1st brush
scrubbing

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2nd brush
scrubbing

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Spin rinse dry
 

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