書籍詳細

発売日 2023/3/14
価格 書籍版： 209,000円（税込み）
書籍・ PDF版 ：231,000円（税込み）
書籍情報 A4版 / 296頁
概要 ●CMP装置＆ポリッシング・グラインディング装置、CMPスラリー＆ポリッシング材、ポリッシングパッド＆パッドコンディショナの市場と動向をプロセス別、基板別、メーカー別に詳細に分析している。
●Siウエハ、サファイア、LT/LN基板に加えて、積極的な開発と採用が進むSiC、GaN参入企業の動向も解説。リテーナーリング市場シェアと主要4社の動向を掲載。基板と対応CMPプロセス装置、材料をこの一冊で把握できる!
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