書籍詳細

Semiconductor Equipment Parts Worldwide Annual 2022
主要な半導体製造装置部品の市場動向・企業シェアが地域別に分かる！

発売日 2022/5/20
価格 書籍版 96,800円 （税込み）
データ版118,800円 （税込み）
書籍+データ版 131,780円（税込み）
書籍情報 Ａ4変形版 / 約474ページ
概要 静電チャックやサーボモータなど、半導体製造装置に使用される主要な部品品目を、日本・米国・韓国・台湾・欧州・中国・その他アジア地域に分類し、それぞれの市場を分析！

掲載品目：ポンプ（ドライ真空ポンプ、クライオポンプ、ターボ分子ポンプ）、真空制御関連部品（Oリング、ベローズ）、ガス制御関連部品（マスフローコントローラ、高純度ガスバルブ、真空バルブ、ガス配管）、薬液制御関連部品（薬液バルブ、薬液配管、薬液供給ポンプ）、ロボット（大気ロボット、真空ロボット）、モータ（サーボモータ）、ステージ（精密ステージ）電源（RF電源、整合器、DC電源）静電チャック、ヒータ（ホットプレートヒータ、拡散路用ヒータ、RTP用ヒータ）チラー、リソグラフィ用光源（EUV用、ArF用、KrF用、i線用、g線用）、ウェーハマーカ認識システム、リテーナリング、プローブカード、キャピラリー、センサ・計測器（温度センサ、熱電対/パイロメータ、圧力センサ、真空計）
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