近年では、環境規制の強化に伴い、有機フッ素化合物PFASが半導体産業に与える影響が注目されています。PFASは半導体製造プロセスの薬液、ガス、添加剤など幅広い用途で使われていますが、世界各国で規制が進展しており、今後の事業運営への影響が懸念されています。本セミナーでは、PFASの基礎知識から世界的な規制動向、半導体各工程での使用実態をわかりやすく解説します。また、規制対応としての代替技術・材料の最新動向や、企業が実践すべき対策についても詳しくお伝えします。

プログラム

時間

セミナー内容（一部変更する場合がございます）

13:05~14:55

「PFAS規制の動向と半導体産業への影響」
講師：礒部 晶 氏（株式会社ISTL）

有機フッ素化合物PFASは、一部で毒性が認められ規制の強化が進んでおり、一般のニュースでも取り上げることが多くなってきた。様々な特性を有することからPFASを用いた製品は身の回りにあふれかえっている。半導体製造においても、薬液、ガス、添加剤、潤滑剤、成形品など様々な形で使用されており、規制の強化が影響する懸念がある。本セミナーではPFASとは何か、その世界的な規制の動向を解説し、半導体の各製造工程においてどういう目的でどのように使用されているかを解説する。さらに、代替技術の動向についても解説する。

14:55~15:10

休憩

15:10~15:50

「東レのPFAS規制に対する取り組み（仮）」
講師：富川 真佐夫 氏（東レ株式会社　シニアフェロー）

PFAS規制が進む中、東レで取り組んでいる対策について、繊維、樹脂半導体材料を中心に業界での取り組み状況も含めて紹介する。

15:50〜16:20

「PFAS対策へ挑戦するクリタグループの革新的ソリューション
～規制対応と環境保全を両立する技術力～」
講師：肥後 徹 氏（栗田工業株式会社　PFAS対策室）

・クリタグループの取り組み（分析、処理技術、管理、廃棄）

・低コストを実現したPFAS対策ソリューション

・最新トピックス

16:20〜17:00

「難分解性のPFASを可視・近紫外光で温和に分解する技術の開発　–持続可能なフッ素リサイクルにむけて–」
講師：小林 洋一 氏（立命館大学生命科学部応用化学科　教授）

1．PFASの分解反応の現状

　　1-1. フッ素材料の基礎

　　1-2. PFASの定義と活用分野

　　1-3. フッ素のマテリアルフロー

2．光化学の基礎と半導体ナノ結晶

　　2-1 光とエネルギー緩和過程

　　2-2 半導体ナノ結晶

３．導体ナノ結晶を用いたPFASの可視光分解

　　3-1. 本研究に至ったきっかけ

　　3-2. 分解反応の検証

　　3-3. さまざまな条件での分解の検討

　　3-4. フッ素樹脂の分解

       3-5. 低毒性半導体ナノ結晶への展開

４．今後の展望

本講演では、半導体ナノ結晶と可視LED光をもちいて、PFASの中でも特に安定性の高いパーフルオロオクタンソルホン酸（PFOS）、およびイオン交換膜として広く利用されているナフィオンをフッ素物イオンに効率的に分解できる技術について紹介する。基礎的な光化学、ナノ結晶の基礎、PFASの物性に関する基礎について説明したうえで、それらをどのように分解することできるかについて、実例をもとに説明する。講演者の技術の詳細をもとに、持続可能なフッ素リサイクル実現に向けた取り組み事例を紹介する。

【講師紹介】

第一部：礒部 晶 氏（株式会社ISTL）

1984年　京都大学原子核工学科修士課程修了、日本電気入社　半導体プロセス開発
2002年　日本電気退社、東京精密入社　ＣＭＰ装置事業部長
2006年　東京精密退社、ニッタハース入社　テクニカルサポートセンター長等
2013年　ニッタハース退社、ディスコ入社　新規事業開発
2014年　九州大学工学部機械工学科　博士号取得
2015年　ディスコ退社、ＩＳＴＬ設立
2018年　中小企業診断士取得

 

第二部：富川 真佐夫 氏（東レ株式会社　シニアフェロー）

1986年3月 東京大学農学系大学院修士修了
1986年4月 東レ入社
1992-1994年　米国アクロン大学特命留学
2007年　東レ株式会社リサーチフェロー認定
2011年　東京工業大学　博士（工学）取得
2019年　高分子学会フェロー
2020年　東レ株式会社　理事
2024年　東レ株式会社　シニアフェロー
受賞
1991年　高分子学会賞技術
2009年　日本化学会　化学技術賞
2010年、2017年　発明協会　地方発明表彰
2015年　発明協会　全国発明表彰
2018年　Panpacific Microelectronics Symposium　ベストペーパー賞
2020年　フォトポリマー学会　業績賞
2020年　文部科学大臣表彰

 

第三部：肥後 徹 氏（栗田工業株式会社）

水処理プラント設計（主に事業所における専用水道）　約7年
土壌地下水対策（営業、調査・技術、工事）　約20年
PFAS対策　約2年

第四部：小林 洋一 氏（立命館大学生命科学部応用化学科　教授）

2002年3月　私立滝高校（愛知）　卒業
2007年3月　関西学院大学理工学部化学科　卒業
2009年3月　同大学大学院理工学研究科化学専攻　博士課程前期課程　修了 （玉井尚登 研究室）
2011年3月　同大学院同学科同専攻　博士課程後期課程　修了（早期）（玉井尚登 研究室）
2011年10月～2013年8月　トロント大学 JSPS海外特別研究員 　（Gregory D. Scholes 研究室）
2013年9月～2017年3月　青山学院大学理工学部化学・生命科学科　助教 　（阿部 二朗 研究室）
2017年4月～　立命館大学生命科学部応用化学科　准教授
2022年10月～　JSTさきがけ研究者「サステイナブル材料」（兼任）
2023年4月～　立命館大学生命科学部応用化学科　教授 （受賞）

 

開催日時

 2026年1月27日（金）13:00〜17:00

開催場所

 【オンラインのみ】zoom

定員

 オンライン：200名

受講料

 個人参加（オンライン）：30,800円（税込み）

◇ご講演資料の配布有無に関しては講師の皆様に一任しております。

◇開催７日前以降のキャンセルはお受けいたしかねますのでご了承ください。
（申し込まれた方がご都合の悪い場合は、代理の方がご出席ください）

◇帳票類のダウンロードについて
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