近年では、3D実装やチップレット化の進展に伴い、半導体製造におけるCMP(化学機械研磨)プロセスの重要性がますます高まっています。特に微細化が進む最先端デバイスでは、CMP後洗浄の高精度化とプロセス制御が重要な課題となっています。
本セミナーでは、CMP技術の基礎から装置構成、エンドポイント制御、洗浄工程における最新動向に加え、微小残渣の定量評価手法や薬液開発の実例、さらに分子動力学シミュレーションを活用した研磨メカニズムの解明まで、CMPプロセスの最新技術を幅広くご紹介いたします。
CMPプロセスの理解を深めたい方、最新の開発動向を把握したい方へ集積化・接合技術の進化を支えるCMPプロセスの最前線について解説いたします。
プログラム
時間 |
セミナー内容(一部変更する場合がございます) |
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13:05〜14:15 |
「半導体製造の化学機械研磨(CMP)技術の概要とCMP後洗浄の特徴」講師:今井 正芳 氏 (株式会社荏原製作所)
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14:15〜15:15 |
「微細化する最先端デバイス向けCMP後洗浄液の開発」講師:上村 哲也 氏(富士フイルム株式会社)
本講演では、当社代表pCMP薬液を例にとり、pCMPの洗浄メカニズムを説明する。 |
15:15〜15:30 |
休憩 |
15:30〜16:40 |
「シミュレーションが明らかにするセリアによるSiO2研磨メカニズム」講師:野村 理行 氏(株式会社レゾナック)
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【講師紹介】
第一部:今井 正芳 氏 (株式会社荏原製作所)
1985年に大日本スクリーン製造㈱(現㈱SCREENホールディングス)入社。当初は半導体ウェーハ拡散炉の基礎開発に従事、1989年より、半導体洗浄装置・プロセス開発に取り組む。1994年に米国出向、セールスと技術サポートを経て、帰国後しばらくして半導体洗浄装置関連のマーケット戦略と製品企画に異動。2006年にコンソーシアムSleteに出向(バックエンド洗浄の開発)し、2008年に戻り、マーケティング部にて洗浄装置関連のマーケット戦略とプロセス開発にも参画。
2010年に株式会社荏原製作所へ入社。主に、CMP後の洗浄プロセス・装置開発に従事。2022年より、同社、マーケティング部門に異動して現在に至る。
第二部:上村 哲也 氏(富士フイルム株式会社)
2004年に富士フイルム株式会社に入社、半導体材料開発研究所に配属。以降、買収に伴いグループ会社になった旧プラナーソリュージョン、和光純薬の駐在を経て現在に至る。CMP/pCMP関連の業務は上記駐在を含め20年以上にわたり従事しており、CMPとpCMPの両商材の開発経験を有している。
保有特許は100件以上、関連分野の執筆論文は5件にのぼる。
第三部:野村 理行 氏(株式会社レゾナック)
1998年3月大阪大学工学研究科博士後期課程修了(工学博士)
1998年4月日立化成株式会社に入社
研究所所属で異方導電性フィルム(接着剤)、有機EL(発光材)、有機トランジスタ、調光フィルムの研究開発に従事した後、
2015年から研磨材料開発部に異動しCMPスラリの開発に従事。
2025年1月から先端融合研究所に異動し、引き続きCMPスラリの研究開発に従事中。
開催日時 |
2025年6月6日(金)13:00〜17:00 |
開催場所 |
【会場】連合会館(新御茶ノ水駅 より徒歩0分) 【オンライン】zoom |
定員 |
会場 :30名 オンライン:200名 |
受講料 |
個人参加(会場/オンライン):30,800円(税込み) 5名までのグループ参加(オンラインのみ):63,800円(税込み) |
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(申し込まれた方がご都合の悪い場合は、代理の方がご出席ください)