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Semiconductor Equipment Parts Worldwide Annual 2024 主要な半導体製造装置部品の市場動向・企業シェアが地域別に分かる!
掲載品目:ポンプ(ドライ真空ポンプ、クライオポンプ、ターボ分子ポンプ)、真空制御関連部品(Oリング、ベローズ)、ガス制御関連部品(マスフローコントローラ、高純度ガスバルブ、真空バルブ、ガス配管)、薬液制御関連部品(薬液バルブ、薬液配管、薬液供給ポンプ)、ロボット(大気ロボット、真空ロボット)、モータ(サーボモータ)、ステージ(精密位置合わせステージ、直動機構)電源(RF電源、整合器、DC電源、マイクロ波電源)静電チャック、ヒータ(ホットプレートヒータ、炉用ヒータ、ランプヒータ)チラー、リソグラフィ用光源(EUV用、ArF用、KrF用、g線用、i線用)、リテーナリング、プローブカード、キャピラリー、センサ・計測器(温度センサ、圧力センサ、真空計)
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