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超高Q値の光ナノ共振器の大量作製に成功

【GNC Letter 222】JR東日本、新型通勤電車にSiC半導体素子を採用
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関係各位 日頃は格別のご高配を賜り、誠に有難うございます。
公益社団法人 化学工学会 エレクトロニクス部会が主催するシンポジウム「微小銅めっきのメカニズムとその応用」
が9月11日(木)12:30~17:40/懇親会 17:50~19:00に蔵前会館 ロイアルブルーホールで開催されます。
参加費等詳細につきましては このメールアドレスは、スパムロボットから保護されています。アドレスを確認するにはJavaScriptを有効にしてください
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【GNC CMP/実装評価用ウエハ】
★あらゆる300mm評価用ウエハに対応
★CMPダマシンCVD Ru,Coバリヤウエハ
★GNC Bump インターポーザ G-03kitをさらにバージョンアップ
★GNC BUMP G-02 KIT
★GNC TSV評価用ウエハ(200mm・300mm)
★450mm 評価用ウエハ
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●JR東日本は7月2日、SiC半導体素子を搭載した新型通勤電車(E235系)の量産計画を発表した。2015年3月以降に
落成し、走行試験を行い2015年秋頃から山手線で営業運転を開始する。現行の車両ではSi IGBTモジュールを使用
しているが、SiCモジュールを利用することにより車両の消費電力の抑制を図る。
●イスラエルTower Semiconductor社は2014年7月1日、京都・長岡京市にセールス&サポートオフィスを開設する
と発表した。同社は2014年4月にパナソニックとの合弁会社「パナソニック・タワージャズ セミコンダクター」
を設立、パナソニックの旧北陸3工場(魚津・砺波・新井)が移管されている。同合弁会社での生産を中心に、
日本及びアジアの顧客との関係構築や販売戦略の主要拠点として新オフィスを位置付ける。
●リソグラフィ光源メーカーであるギガフォトンは6月30日、現在開発中のEUVスキャナー用レーザー生成プラズマ
(LPP)光源のプロトタイプにおいて、最大出力92 Wを発光効率(CE)4.2%で達成することに成功したと発表した。
今後同社では量産対応EUVスキャナーの実現に向けて、2014年末までに150Wの出力、最終的には250Wを目指し
研究開発を行う。
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【GNCの出版物】
★「世界半導体製造装置・試験/検査装置市場年鑑2014」 2014年3月31日発刊
書籍版 定価 48,000円+税  CD-ROM版 定価 85,000円+税 セット料金(書籍+CD-ROM)定価99,800円+税
【リソグラフィ工程、エッチング工程、薄膜形成工程など半導体製造装置全60品目、マスク/レチクル検査装置、
半導体テスタなど試験/検査装置全26品目の企業シェアを日本、米国、韓国、台湾、欧州などの地域で徹底分析】
★「世界有機EL照明産業年鑑2013」 2013年10月15日発刊 定価 38,000円+税
★「世界LED照明産業年鑑2013」 定価 38,000円+税
★「CMP基板とその消耗材市場分析レポート 2013」 定価 180,000円+税
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個人情報の取り扱いについて:http://www.global-net.co.jp/privacy.html量子ドットフィルムによるイメージセンサ、本年中に製品化へ
●大阪府立大学工学研究科の高橋和准教授と、産業技術総合研究所(以下産総研)電子光技術研究部門の森雅彦研究部門長、岡野誠研究員の研究グループは、フォトリソグラフィ法を用いて、100万以上のQ値を有する光ナノ共振器を作製することに世界で初めて*成功した。(*同研究グループによる)
  
シリコンフォトニック結晶を用いた光ナノ共振器は、100万を超える非常に高いQ値を実現しており、光を微小領域に強く閉じ込めることが可能である。シリコンレーザ、光メモリ、医療診断センサなど、この特長を生かしたさまざまな光素子が研究されている。とくに、近年開発され注目を集めている超低消費電力シリコンラマンレーザは、100万以上のQ値を持つ光ナノ共振器が必要不可欠とされる。
  
しかし、従来のQ値100万以上の光ナノ共振器は、全て電子線リソグラフィ法により作製されていた。産業応用を実現するには、電子線リソグラフィの100万倍の生産性を持つフォトリソグラフィを用いて、大面積ウエハ上に一括作製することが重要となる。
  
●これまで大阪府立大は電子線リソグラフィ法による光ナノ共振器の研究を重ねており、一方産総研はフォトリソグラフィ技術開発とシリコンフォトニクス研究を進めてきた。今回主に産総研がデバイス設計とサンプル作製を担当し、大阪府立大学がデバイスの特性評価を担当した。ArF液浸フォトリソグラフィを用いて、300mmシリコンウエハ全面に光ナノ共振器を作製し、150万のQ値を得ている。
  
●同研究グループは今後、オープンイノベーション推進拠点である産総研スーパークリーンルームにおいて、多くの研究者が高Q値光ナノ共振器を研究できる体制を整えていき、フォトニック結晶デバイスの早期実用化を推進していくとしている。
  
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最終更新 2016年 3月 30日(水曜日) 12:22