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東大研究グループ、フレキシブル圧力センサを開発

【GNC Letter 222】JR東日本、新型通勤電車にSiC半導体素子を採用
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関係各位 日頃は格別のご高配を賜り、誠に有難うございます。
公益社団法人 化学工学会 エレクトロニクス部会が主催するシンポジウム「微小銅めっきのメカニズムとその応用」
が9月11日(木)12:30~17:40/懇親会 17:50~19:00に蔵前会館 ロイアルブルーホールで開催されます。
参加費等詳細につきましては このメールアドレスは、スパムロボットから保護されています。アドレスを確認するにはJavaScriptを有効にしてください
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【GNC CMP/実装評価用ウエハ】
★あらゆる300mm評価用ウエハに対応
★CMPダマシンCVD Ru,Coバリヤウエハ
★GNC Bump インターポーザ G-03kitをさらにバージョンアップ
★GNC BUMP G-02 KIT
★GNC TSV評価用ウエハ(200mm・300mm)
★450mm 評価用ウエハ
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●JR東日本は7月2日、SiC半導体素子を搭載した新型通勤電車(E235系)の量産計画を発表した。2015年3月以降に
落成し、走行試験を行い2015年秋頃から山手線で営業運転を開始する。現行の車両ではSi IGBTモジュールを使用
しているが、SiCモジュールを利用することにより車両の消費電力の抑制を図る。
●イスラエルTower Semiconductor社は2014年7月1日、京都・長岡京市にセールス&サポートオフィスを開設する
と発表した。同社は2014年4月にパナソニックとの合弁会社「パナソニック・タワージャズ セミコンダクター」
を設立、パナソニックの旧北陸3工場(魚津・砺波・新井)が移管されている。同合弁会社での生産を中心に、
日本及びアジアの顧客との関係構築や販売戦略の主要拠点として新オフィスを位置付ける。
●リソグラフィ光源メーカーであるギガフォトンは6月30日、現在開発中のEUVスキャナー用レーザー生成プラズマ
(LPP)光源のプロトタイプにおいて、最大出力92 Wを発光効率(CE)4.2%で達成することに成功したと発表した。
今後同社では量産対応EUVスキャナーの実現に向けて、2014年末までに150Wの出力、最終的には250Wを目指し
研究開発を行う。
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★「世界半導体製造装置・試験/検査装置市場年鑑2014」 2014年3月31日発刊
書籍版 定価 48,000円+税  CD-ROM版 定価 85,000円+税 セット料金(書籍+CD-ROM)定価99,800円+税
【リソグラフィ工程、エッチング工程、薄膜形成工程など半導体製造装置全60品目、マスク/レチクル検査装置、
半導体テスタなど試験/検査装置全26品目の企業シェアを日本、米国、韓国、台湾、欧州などの地域で徹底分析】
★「世界有機EL照明産業年鑑2013」 2013年10月15日発刊 定価 38,000円+税
★「世界LED照明産業年鑑2013」 定価 38,000円+税
★「CMP基板とその消耗材市場分析レポート 2013」 定価 180,000円+税
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●東京大学 大学院工学系研究科の染谷 隆夫教授らの研究グループは、曲げても性質が変化しないフレキシブル圧力センサの作製に成功した。この圧力センサのシートを折り曲げていくと、曲げた部分が80μm(髪の毛の倍程度の寸法)の曲率半径になっても、圧力センサとしての性質が変化しないことが確かめられた。発表によると、これはフレキシブル圧力センサとして世界最高感度になるという。
  
●同センサは、圧力の変化を抵抗の変化として読み出すもので、圧力を0から70Paまで増加させると、抵抗が100分の1まで小さくなり、600Paまで増加させると、抵抗値が6桁以上小さくなる。3,000回以上圧力を繰り返し加えても性質が変化しなかったという。
  
●開発の決め手は、圧力を感知する素材にナノファイバーを使って、センサの厚みを2μmまで薄くしたことだ。センサを製造する高分子基材の厚みは1.4μmで、基材を含む全体の厚みは3.4μmである。ナノファイバーは、エレクトロスピニング法によって形成され、300から700nmの直径を実現した。ナノファイバー同士が、繊維のように絡み合う構造を形成し、薄くて軽量な多孔性の素材を可能としている。
  
●曲げても性質が変化しないフレキシブル圧力センサを実現できたことで、ゴム手袋のように柔らかい曲面上でも非常に高精度な圧力の計測ができるようになる。例えば、これまで感覚に頼っていた乳がんのしこりの触診をセンサで定量化するデジタル触診などの用途が想定され、ヘルスケア、医療、福祉、スポーツなど多方面への応用が期待される。
   
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最終更新 2016年 3月 16日(水曜日) 18:06