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NIMS、ランタンホウ化物に関する技術を確立

【GNC Letter 222】JR東日本、新型通勤電車にSiC半導体素子を採用
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関係各位 日頃は格別のご高配を賜り、誠に有難うございます。
公益社団法人 化学工学会 エレクトロニクス部会が主催するシンポジウム「微小銅めっきのメカニズムとその応用」
が9月11日(木)12:30~17:40/懇親会 17:50~19:00に蔵前会館 ロイアルブルーホールで開催されます。
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●JR東日本は7月2日、SiC半導体素子を搭載した新型通勤電車(E235系)の量産計画を発表した。2015年3月以降に
落成し、走行試験を行い2015年秋頃から山手線で営業運転を開始する。現行の車両ではSi IGBTモジュールを使用
しているが、SiCモジュールを利用することにより車両の消費電力の抑制を図る。
●イスラエルTower Semiconductor社は2014年7月1日、京都・長岡京市にセールス&サポートオフィスを開設する
と発表した。同社は2014年4月にパナソニックとの合弁会社「パナソニック・タワージャズ セミコンダクター」
を設立、パナソニックの旧北陸3工場(魚津・砺波・新井)が移管されている。同合弁会社での生産を中心に、
日本及びアジアの顧客との関係構築や販売戦略の主要拠点として新オフィスを位置付ける。
●リソグラフィ光源メーカーであるギガフォトンは6月30日、現在開発中のEUVスキャナー用レーザー生成プラズマ
(LPP)光源のプロトタイプにおいて、最大出力92 Wを発光効率(CE)4.2%で達成することに成功したと発表した。
今後同社では量産対応EUVスキャナーの実現に向けて、2014年末までに150Wの出力、最終的には250Wを目指し
研究開発を行う。
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書籍版 定価 48,000円+税  CD-ROM版 定価 85,000円+税 セット料金(書籍+CD-ROM)定価99,800円+税
【リソグラフィ工程、エッチング工程、薄膜形成工程など半導体製造装置全60品目、マスク/レチクル検査装置、
半導体テスタなど試験/検査装置全26品目の企業シェアを日本、米国、韓国、台湾、欧州などの地域で徹底分析】
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●NIMS(独立行政法人 物質・材料研究機構)は12月1日、電子顕微鏡などの電子源として期待されているランタンホウ化物(LaB6)単結晶ナノワイヤの表面を原子レベルでクリーニングする技術の開発成功を発表した。さらに、開発した電子源を走査型電子顕微鏡に組み込んで高分解能の像を得ることに成功し、実際に電子顕微鏡の高輝度・細束な電子源として使用できることを示した。
  
●電子顕微鏡の空間分解能を向上させるには、電子源から多量の電子を放出させた上で細く絞った、高輝度・細束の電子線が必要となる。現在、高分解能な電子顕微鏡では、針状のタングステンが電子源として使われているが、空間分解能を更に向上させるためには、タングステンより電子放出が容易なLaB6を用いた、電界放射型の電子源の開発が望まれている。しかし、LaB6が非常に硬く扱いにくいために、電界放射型に必要なナノワイヤの作成が困難であった。
  
●今回NIMSの研究グループは、米国ノースカロライナ大学Lu-Chang Qin教授と共同で、化学気相法を用いることで、LaB6のナノワイヤからなる電子源の作製に成功した。さらに、LaB6ナノワイヤ電子源表面のクリーニング技術も開発し、電子放出特性を高め安定性の高い電子源の開発に成功した。開発したLaB6ナノワイヤ電子源は、現行のタングステン電子源に比べ、電子線が細束であり、輝度が100倍、エネルギー幅が3分の2になることを確認したという。また、電界放射顕微鏡に組み込んだ場合、電流密度が1000倍、電流の減衰なく5時間使用できることも実証した。
  
●今回開発したLaB6ナノワイヤ電子源は、従来の電子銃のタングステン電子源を交換するだけで簡単に実装することが可能である。今後NIMSは、民間企業との共同研究によって、LaB6ナノワイヤ電子源の実用化・製品化を進めていく方針だ。
最終更新 2015年 12月 07日(月曜日) 10:10