Home GNC Letter(配信ニュース)一覧 【GNC Letter 282】ギガフォトン、EUV光源で平均60W、24時間連続稼働を達成

【GNC Letter 282】ギガフォトン、EUV光源で平均60W、24時間連続稼働を達成

【GNC Letter 222】JR東日本、新型通勤電車にSiC半導体素子を採用
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●JR東日本は7月2日、SiC半導体素子を搭載した新型通勤電車(E235系)の量産計画を発表した。2015年3月以降に
落成し、走行試験を行い2015年秋頃から山手線で営業運転を開始する。現行の車両ではSi IGBTモジュールを使用
しているが、SiCモジュールを利用することにより車両の消費電力の抑制を図る。
●イスラエルTower Semiconductor社は2014年7月1日、京都・長岡京市にセールス&サポートオフィスを開設する
と発表した。同社は2014年4月にパナソニックとの合弁会社「パナソニック・タワージャズ セミコンダクター」
を設立、パナソニックの旧北陸3工場(魚津・砺波・新井)が移管されている。同合弁会社での生産を中心に、
日本及びアジアの顧客との関係構築や販売戦略の主要拠点として新オフィスを位置付ける。
●リソグラフィ光源メーカーであるギガフォトンは6月30日、現在開発中のEUVスキャナー用レーザー生成プラズマ
(LPP)光源のプロトタイプにおいて、最大出力92 Wを発光効率(CE)4.2%で達成することに成功したと発表した。
今後同社では量産対応EUVスキャナーの実現に向けて、2014年末までに150Wの出力、最終的には250Wを目指し
研究開発を行う。
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【GNC Letter 282】ギガフォトン、EUV光源で平均出力60W、24時間連続稼働を達成
  
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関係各位 日頃は格別のご高配を賜り、誠に有難うございます。
ギガフォトンがEUV光源の量産シミュレートにおいて、平均出力60W、24時間の連続稼働達成を発表しました。
今回はこのニュースを中心にお伝えいたします。
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●ギガフォトンは10月2日、開発中のEUVスキャナ用レーザー生成プラズマ(LPP)光源のプロトタイプ機において、
量産工場での使用をシミュレートした運転パターンで平均60W、24時間の連続稼働達成を発表した。同社が開発を
続けてきた20μm以下の微小ドロップレットの供給技術、短波長の固体レーザーによるプリパルスとCO2レーザーに
よるメインパルスの組み合わせ、磁場を使ったデブリ除去技術をより進化させたことによって達成された。今後は、
2015年中に高出力検証機を稼働させ、250Wレベルの連続運転を目指し、更なる研究開発に取り組むとしている。
  
●EUVは究極の露光技術といわれ、13.6nmという圧倒的な波長の短さを有する(ArF液浸は134nm)。これを用いる
ことで、より微細なパターンを刻むことが可能となるが、技術的な障壁も大きくなかなか実用化に至らないのが現状
である。一つにはEUVの波長域においては光学系を反射ミラーだけで構成する必要があり、反射を繰り返すことによ
り光源の発光量の大部分が損失されることが挙げられる。このため、損失分を見込んだ高出力な光源が必要となる。
  
●ギガフォトンはメモリ等へのEUVの量産対応目安として、出力250Wレベルの連続運転を目標に掲げている。2015年
2月には、出力140W、デューティーサイクル50%の連続運転達成を発表しており、着々と研究開発が進んでいることが
明白となった。一方、蘭ASML社も出力100Wの光源動作に成功している模様で、量産に向けたEUVの開発は佳境を迎
えている。
  
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最終更新 2015年 10月 05日(月曜日) 11:09