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【GNC Letter 96】第22回マイクロマシン/MEMS展TOPICS

【GNC Letter 96】第22回マイクロマシン/MEMS展TOPICS
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関係各位 日頃は格別のご高配を賜り、誠に有難うございます。先日ビッグサイトで開催された第22回マイクロ
マシン/MEMS展は、出展者・来場者とも昨年よりやや少ない結果でしたが、ブースにお越しいただいた皆様どう
もありがとうございました。
GNC Letter 96は、今回の展示会のトピックをお届けします。

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●維持コストの大きいクリーンルームの省エネルギー、省コストに効果的として、注目を集めていたのが、興研
株式会社のブース。同社の開発したオープンクリーンシステム『KOACH』は、周りを囲うこと無くISOクラス5の
清浄空間を作ることができる。対向させたフードからクリーンな空気を送り出し、2つがぶつかり合ってゾーン内
の汚れた空気を押し出す仕組み。フードの数を増やすことでクリーンゾーンの拡張も容易にでき、スイッチを入
れてから約30秒(面積等による)でクリーンな状態になるという。床面からのフロアーコーチ、テーブル作業用の
オープンクリーンベンチなどがある。

●エコを意識した新製品・開発品を数多く展示して賑わっていたオムロン。たとえばスマートセンシングモジュー
ルは、気流や温度など環境情報を小型MEMSセンサで集めたデータを自律的に分析して分類し、必要なデータ
のみをサーバと通信することで通信量を抑制し、ネットワークの負荷軽減、電池の長寿命化に貢献する。また、
振動発電モジュールは、日常的に存在する振動をエレクトレット材料で交流電気に変換し、センサデータの無線
通信の電源として利用するもの。高さ4mmと薄型で狭小スペースへの設置が可能で、2012年に製品化の見込。

●ニコンエンジニアリングも新製品のミニステッパ「NES2」を展示。従来のNES1が150mmウエハ対応だったの
に対し、大口径化に伴い200mm対応となっている。NESシリーズは、小フットプリントにMEMS加工に求められる
深い焦点深度を備えており、「DBA(Direct Back-side Alignment)」とよぶ高精度の裏面アライメント機構がオプ
ション搭載されている。また、「NES2-h06」はニコンの半導体用露光装置NSRシリーズ一括ステッパと同じ22mm
角の露光範囲で、NSRのアライメントマークが使用可能。
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最終更新 2011年 7月 26日(火曜日) 11:57